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OPTM series 嵌入型

OPTM series 嵌入型

利用显微微分光膜厚计OPTM series的高精度、微小光点,在线提供制作晶片图案后的微小区域测量等膜厚信息。...

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产品介绍
  • 产品信息
  • 式样

产品信息

  特 点

●膜厚测量范围1nm~92μm(换算为SiO2)

●膜厚值高重复精度

●1点1秒以内的高速测量

●最小小点Φ3μm)中瞄准模式

●最适合图案晶片的膜厚映射

●能够取得图案对准用图像


  装置组装示意图

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  测量数据示意图

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  测量光点周边图像

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  适应过程示例

CMP工艺

蚀刻工艺

成膜工艺等


  式样

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