产品信息
特 点
● 采用分光干涉法
● 搭载高精度FFT膜厚解析系统(专利 第4834847号)
● 使用光学光纤,可灵活构筑测量系统
● 可嵌入至各种制造设备。
● 实时测量膜厚
● 可对应远程操作、多点测量
● 采用寿命长、安全性高的白色LED光源
测量项目
● 多层膜厚解析
用 途
● 光学薄膜(超硬涂层、AR薄膜、ITO等)
● FPD相关(光刻胶、SOI、SiO2等)
设备构成
单点型
● 半导体晶圆的面内分布测量
● 玻璃基板的面内分布测量
多点型
● 实时测量
● 流向品质管理
● 真空室适用
导线型
● 宽度方向品质管理
测量案例
超硬涂层的膜厚解析