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产品信息
嵌入式膜厚检测仪
产品信息 特 点 采用分光干涉法 搭载高精度FFT膜厚解析系统(专利 第4834847号) 使用光学光纤,可灵活构筑测量系统 可嵌入至各种制造设备。 实时测量膜厚 可对应远程操作、多点测量...
全国热线
0512-62589919

产品信息

  特 点

● 采用分光干涉法

● 搭载高精度FFT膜厚解析系统(专利 第4834847号)

● 使用光学光纤,可灵活构筑测量系统

● 可嵌入至各种制造设备。

● 实时测量膜厚

● 可对应远程操作、多点测量

● 采用寿命长、安全性高的白色LED光源


  测量项目

● 多层膜厚解析


  用 途

● 光学薄膜(超硬涂层、AR薄膜、ITO等)

● FPD相关(光刻胶、SOI、SiO2等)


设备构成

  单点型

1.jpg

● 半导体晶圆的面内分布测量

● 玻璃基板的面内分布测量


  多点型

2.jpg

● 实时测量

● 流向品质管理

● 真空室适用


  导线型

3.jpg

● 实时测量

● 宽度方向品质管理


测量案例

  超硬涂层的膜厚解析


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