产品信息
特 点
● 最适合工艺过程中的薄膜高速测量
● 最短曝光时间1ms~※根据规格
● 支持远程测量
● 膜厚测量范围65nm~92μm(换算为SiO2)
基本配置
多点测量点切换对应系统
在多点测量点切换对应系统中,通过在TD方向预先设置任意宽度的多分支光纤,可以在不驱动光纤的情况下测量TD方向的膜厚分布。可以作为涂层的条件和实时监视器使用。
检测器和数据处理系统为1式,通过光纤的光路切换可以进行多点测定。
横动单元对应系统
在横动单元对应系统中,通过在TD方向上驱动横动单元,可以以任意宽度和任意间距测量TD方向的膜厚分布。
可以作为涂层条件提出和实时监控使用。 由于通过排线单元的驱动进行多点测量,因此无需准备多台检测器和数据处理。
即使在真空环境下也可以在多点进行反射、透射光谱测定
通过使用各种法兰对应的耐真空纤维,可以在高真空下测量反射、透射光谱。
另外,膜厚运算不易受到基膜的上下移动的影响,并且采用精度良好的薄膜测量大冢电子独自的算法,可以作为实时监视器使用。
产品规格
MCPD-9800仕様
型号 | MCPD-9800 | ||||
2285C | 3095C | 3683C | 311C | 916C | |
测量波长范围(nm) | 220~850 | 300~950 | 360~830 | 360~1100 | 900~1600 |
膜厚范围※ | 65nm~35μm | 65nm~50μm | 65nm~45μm | 65nm~49μm | 180nm~92μm |
膜厚/反射/透过/相位差 | 〇 | ||||
色测量 | 〇 | x | |||
扫描时间 | 5ms~20s | 1ms~10s | |||
光斑直径 | φ1.2mm | ||||
光纤长度 | 1m~长度需相商 |
※膜厚值n=1.5的换算。由式样而定
MCPD-6800仕様
型号 | MCPD-6800 | |||
2285C | 3095C | 3683C | 3610C | |
测量波长范围(nm) | 220~850 | 300~950 | 360~830 | 360~1000 |
膜厚范围※ | 65nm~35μm | 65nm~50μm | 65nm~45μm | 65nm~49μm |
膜厚/反射/透过/相位差/色测量 | 〇 | |||
扫描时间 | 16ms~65s | |||
光斑直径 | φ1.2mm | |||
光纤长度 | 1m~ 长度需相商 |
※膜厚值n=1.5的换算。由式样而定