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PRODUCT
产品信息
MCPD series 在线评估测试系统
本公司的MCPD series在线胶卷评价系统,由于光学式非接触·非破坏的膜厚,浓度,颜色等的检查可能。可测定膜厚范围为65nm~92μm和薄膜到厚膜都对应。(折射率1.5时)测量原理为分光干涉方式,在实现高测量再现性的同时,还支持多层厚度测量。由于采用了独自算法,可以高速实时监控,所以作为在线胶片监控,我们提出了最适合的系统。...
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0512-62589919

产品信息

  特 点

● 最适合工艺过程中的薄膜高速测量

● 最短曝光时间1ms~※根据规格

● 支持远程测量

● 膜厚测量范围65nm~92μm(换算为SiO2)


  基本配置

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  多点测量点切换对应系统

在多点测量点切换对应系统中,通过在TD方向预先设置任意宽度的多分支光纤,可以在不驱动光纤的情况下测量TD方向的膜厚分布。可以作为涂层的条件和实时监视器使用。

检测器和数据处理系统为1式,通过光纤的光路切换可以进行多点测定。

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  横动单元对应系统

在横动单元对应系统中,通过在TD方向上驱动横动单元,可以以任意宽度和任意间距测量TD方向的膜厚分布。

可以作为涂层条件提出和实时监控使用。 由于通过排线单元的驱动进行多点测量,因此无需准备多台检测器和数据处理。

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  即使在真空环境下也可以在多点进行反射、透射光谱测定

通过使用各种法兰对应的耐真空纤维,可以在高真空下测量反射、透射光谱。

另外,膜厚运算不易受到基膜的上下移动的影响,并且采用精度良好的薄膜测量大冢电子独自的算法,可以作为实时监视器使用。

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产品规格

  MCPD-9800仕様

型号MCPD-9800

2285C

3095C3683C311C916C
测量波长范围(nm)220~850300~950360~830360~1100900~1600
膜厚范围※65nm~35μm65nm~50μm65nm~45μm65nm~49μm180nm~92μm
膜厚/反射/透过/相位差
色测量x
扫描时间5ms~20s1ms~10s
光斑直径φ1.2mm
光纤长度1m~长度需相商

※膜厚值n=1.5的换算。由式样而定


  MCPD-6800仕様

型号MCPD-6800

2285C

3095C3683C3610C
测量波长范围(nm)220~850300~950360~830360~1000
膜厚范围※65nm~35μm65nm~50μm65nm~45μm65nm~49μm
膜厚/反射/透过/相位差/色测量
扫描时间16ms~65s
光斑直径φ1.2mm
光纤长度1m~ 长度需相商

※膜厚值n=1.5的换算。由式样而定

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