日本語   |    English

日本語
English
您的位置: 首页-测量机器
显微分光膜厚仪 OPTM series

显微分光膜厚仪 OPTM series

测量项目:[膜厚、折射率n、消光系数k]. 测量原理:[分光干涉法]. 测量对象:[光刻胶、SiO2、Si3N4等]. 测量范围:[1nm~92μm]....

在线咨询 全国热线
0512-62589919
产品介绍
  • 产品特色
  • 量测项目
  • 应用范围
  • 规格式样
  • OPTM 选型
  • 量测案例

产品特色

动画



● 非接触、非破坏式,量测头可自由集成在客户系统内

● 初学者也能轻松解析建模的初学者解析模式

● 高精度、高再现性量测紫外到近红外波段内的绝对反射率,可分析多层薄膜厚度、光学常数(n:折射率、k:消光系数)

● 单点对焦加量测在1秒内完成

● 显微分光下广范围的光学系统(紫外 ~ 近红外)

● 独立测试头对应各种inline定制化需求

 ● 最小对应spot约3μm

 ● 独家专利可针对超薄膜解析nk


量测项目

●绝对反射率分析

●多层膜解析(50层)

●光学常数(n:折射率、k:消光系数)  

膜或者玻璃等透明基板样品,受基板内部反射的影响,无法正确测量。OPTM系列使用物镜,可以物理去除内部反射,即使是透明基板也可以实现高精度测量。此外,对具有光学异向性的膜或SiC等样品,也可完全不受其影响,单独测量上面的膜。

(专利编号    第 5172203 号)
1.png


应用范围

● 半导体、复合半导体:硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、介电常数材料

● FPD:LCD、TFT、OLED(有机EL)

● 资料储存:DVD、磁头薄膜、磁性材料

● 光学材料:滤光片、抗反射膜

● 平面显示器:液晶显示器、薄膜晶体管、OLED

● 薄膜:AR膜、HC膜、PET膜等

● 其它:建筑用材料、胶水、DLC等


规格式样

(自动XY平台型)

 
OPTM-A1
OPTM-A2
OPTM-A3
波长范围230 ~ 800 nm360 ~ 1100 nm900 ~ 1600 nm
膜厚范围1nm ~ 35μm7nm ~ 49μm16nm ~ 92μm
测定时间1秒 / 1点以内
光径大小10μm (最小约3μm)
感光元件CCDInGaAs
光源规格氘灯 卤素灯 卤素灯
尺寸556(W) X 566(D) X 618(H) mm (自动XY平台型的主体部分)
重量66kg(自动XY平台型的主体部分)

OPTM 选型

2.png自动XY平台型

3.png固定框架型

4.png嵌入头型


波长与膜厚范围

5.jpeg


选型表

波长范围

自动XY平台型

固定框架型

嵌入头型

230 ~ 800nm

OPTM-A1

OPTM-F1

OPTM-H1

360 ~ 1,100nm

OPTM-A2

OPTM-F2

OPTM-H2

900 ~ 1,600nm

OPTM-A3

OPTM-F3

OPTM-H3

 

物镜

      类型

倍率

测量光斑

视野范围

  反射对物型

10x lens

Φ 20μm

Φ 800μm

20x lens

Φ 10μm

Φ 400μm

40x lens

Φ 5μm

Φ 200μm

可视折射型

5x lens

Φ 40μm

Φ 1,600μm


量测案例

半导体行业 - SiO2、SiN膜厚测定案例

6.png

半导体工艺中,SiO2用作绝缘膜,而SiN用作比SiO2更高介电常数的绝缘膜,或是用作CMP去除SiO2时的阻断保护,之后SiN也被去除。绝缘膜的性能像这样被使用时,为了精确的工艺控制,有必要测量这些膜厚度。


FPD行业 - 彩色光阻膜厚测定

7.jpeg

8.jpeg

彩色滤光片薄膜的制程中,一般将彩色光阻涂布在整个玻璃表面,通过光刻进行曝光显影留下需要的图案。RGB三色依次完成此工序。

彩色光阻的厚度不恒定是导致RGB图案变形、彩色滤光片颜色偏差的原因,因此对彩色光阻的膜厚管理非常重要。


FPD行业 – 用倾斜模式解析ITO构造

10.png

11.png


ITO膜是液晶面板等使用的透明电极材料,制膜后需经过退火处理(热处理)提升导电性和透光性。此时,氧状态和结晶性发生变化,使得膜厚产生阶段性的倾斜变化。在光学上不能看作是构成均一的单层膜。

对这样的ITO用倾斜模式,由上部界面和下部界面的nk值,对倾斜程度进行测量。


半导体行业 – 使用界面系数测定粗糙基板上的膜厚

12.png

13.png

如果基板表面非镜面且粗糙度大,则由于散射,测量光降低且测量的反射率低于实际值。

通过使用界面系数,因为考虑到了基板表面上的反射率的降低,可以测量出基板上薄膜的膜厚值。


DLC涂层行业 – 各种用途DLC涂层厚度的测量


14.png

DLC(类金刚石)涂层由于其高硬度、低摩擦系数、耐磨性、电绝缘性、高阻隔性、表面改性以及与其他材料的亲和性等特征,被广泛用于各种用途。

采用显微光学系统,可以测量有形状的样品。此外,监视器一边确认检查测量位置一边进行测量的方式,可以用于分析异常原因。






Copyright © 2021-2025 大塚电子有限公司 All rights reserved.  备案号:苏ICP备13028874号-1

0512-62589919