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产品信息
相位差测量装置 RETS-100nx New
产品信息 特 点 采用了偏光光学系和多通道分光检出器 有可对应各种尺寸的装置,从1mm大小的光学素子到第10代的大型基板 安全对策和粒子对策,可对应液晶line内的检查设备 测量项目...
全国热线
0512-62589919

产品信息

特 点

使用独有的光谱仪实现高精度测量

精度高的原因

● 使用独有的高性能多通道光谱仪(型号:MCPD)对光谱进行解析
● 可获取较多的透过率信息 实现高精度测量
(获得的透射率信息约为 500 波长,是其他公司产品的约50 倍)。

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超高相位差测量-超双折射薄膜可高速、高精度测量

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轴角度补正功能-即使样品放置有偏离,也可轻松、再现性良好的进行测量

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便捷的软件-极大缩短测量时间与处理时间,操作性大幅UP

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产品规格

测量项目(薄膜、光学材料)

相位差(波长分散)、慢轴、RTH*1、3次元折射率*1等

测量项目(偏光片)

吸收轴、偏光度、消光比、各种色度、各种透过率等

测量项目(液晶cell)

cell gap、预倾角*1 、扭曲角、配向角等

位相差测量范围

0~60,000nm

相位差重复性

3σ≦0.08nm(水晶波长板 约600nm)

cell gap 测量范围

0~600μm(Δn=0.1时)

cell gap 重复性

3σ≦0.005μm(cell gap 约3μm、Δn=0.1时)

轴检测重复性

3σ≦0.08°(水晶波长板 约600nm)

测量波长范围

400~800nm(其他可选)

检测器

多通道光谱仪

测量径

φ2㎜(标准规格)

光源

100W halogen lamp

数据处理部

个人计算机、显示器

样品台尺寸:标准

100㎜×100㎜(固定样品台)

option

·超高相位差测量
·多层测量
·轴角度补正功能
· 自动XY样品台·自动倾斜旋转样品台

*1:必须配备自动倾斜旋转样品台。(option)


测量案例

固定样品台

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自动倾斜旋转样品台

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自动XY样品台

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