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产品信息
特 点
● 膜厚测量范围65nm～92μm（换算为SiO2）
● 最短曝光时间1ms~※根据规格
● 由于是柔性纤维光学系统，容易组装到半导体工艺装置中
● 可从上层远程控制
● 最适合于研磨中膜厚终点检测
基本配置
装置组装示意图
测量案例
适应过程示例
CMP工艺
蚀刻工艺
成膜工艺
等等
产品规格
MCPD-9800仕様
| 型号 | MCPD-9800 | ||||
2285C | 3095C | 3683C | 311C | 916C | |
| 测量波长范围（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1100 | 900～1600 |
| 膜厚范围※ | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm | 180nm～92μm |
| 膜厚/反射/透过/相位差 | 〇 | ||||
| 色测量 | 〇 | x | |||
| 扫描时间 | 5ms～20s | 1ms～10s | |||
| 光斑直径 | φ1.2mm | ||||
| 光纤长度 | 1m～长度需相商 | ||||
※膜厚值n=1.5的换算。由式样而定
MCPD-6800仕様
| 型号 | MCPD-6800 | |||
2285C | 3095C | 3683C | 3610C | |
| 测量波长范围（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1000 |
| 膜厚范围※ | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm |
| 膜厚/反射/透过/相位差/色测量 | 〇 | |||
| 扫描时间 | 16ms～65s | |||
| 光斑直径 | φ1.2mm | |||
| 光纤长度 | １ｍ～ 长度需相商 | |||
※膜厚值n=1.5的换算。由式样而定
