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MCPD series 嵌入式膜厚测试型

MCPD series 嵌入式膜厚测试型

本公司的MCPD series,由于采用柔软纤维的事,从In-Situ到内联各种各样的地方和用途的编入成为可能。测量原理为分光干涉方式,在实现高测量再现性的同时,还支持多层厚度测量。通过采用独自算法,可以高速实时监控。...

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产品介绍
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产品信息

特 点

●膜厚测量范围65nm~92μm(换算为SiO2)

●最短曝光时间1ms~※根据规格

●由于是柔性纤维光学系统,容易组装到半导体工艺装置中

●可从上层远程控制

●最适合于研磨中膜厚终点检测

基本配置

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装置组装示意图


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测量案例

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适应过程示例

CMP工艺

蚀刻工艺

成膜工艺

等等


仕様

MCPD-9800仕様

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MCPD-9800仕様

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