- 产品信息
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- 测量实例
特点
可评价nｍ级的透明的异物・缺陷 一次拍照即可瞬时获得深度方向的信息 无需对焦，可高速测量 可非破坏・非接触・非侵入的测量 可在任意的面进行高速扫描,轻松决定测量位置
规格
| 分辨率 x , y | 6 9 1n m（ 一次拍照）、4 8 8 n m（ 合成） |
| 视野 x , y | 7 0 0×7 0 0μm |
| 分辨率 z | |
| 视野 z | |
| 样品尺寸 | 10 0×8 0×t 2 0 mm（安装通用样品架时） |
| 样品台 | 微动X Y样品台（自动） X:±10 mm Y：±10 mm 粗动样品台 X：12 9 mm Y：8 5 mm |
| 激光 | 波长 6 3 8 nm 输出 0 .3 9 mW 以下 C la s s1 ( 对测量样品的照射强度) |
| 尺寸（长×宽×高）mm | 本体：5 0 5（W）×6 3 0（D）×4 3 9（H） ± 2 0 m m ※不含P C、附属品 |
| 重量 | 41k g |
| 功耗 | 本体：2 9 0 VA ※不含P C、附属品 |
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测量例
将肉眼无法看见的透明薄膜表面可视化・定量化
可以非接触、非破坏性、非侵入性地获得nm级的形状信息。通过一次拍照即可获取深度方向的信息，可以将透明薄膜表面上肉眼不可见的划痕和缺陷的横截面形状数值化实现可视化。
观察透明薄膜内部的填充剂
肉眼无法看到的透明薄膜内部的填充剂，通过一次拍照即可观察到。此外，通过在测量后改变深度方向的焦点，可以识别到各个深度的填充剂。
