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PRODUCT
产品信息
Smart膜厚仪
● 可携带至现场的手持式

● 可测量0.1μm单位

● 具有形状的样品也可非破坏的测量

● 不论基材材质、可测量其镀膜
全国热线
0512-62589919

产品信息

特点

● 可携带至现场的手持式

● 可测量0.1μm单位

● 具有形状的样品也可非破坏的测量

● 不论基材材质、可测量其镀膜


测量项目

膜厚测量范围

1μm~50μm

测量重复性

0.01μm

测量时间

1秒以下


Smart手持式膜厚仪与其他膜厚仪的比较

与桌上型光学膜厚仪相比,Smart膜厚仪在“现场”以非破坏式直接量测样品,且可以量测特殊形状样品。

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与接触式膜厚仪相比,Smart膜厚仪不仅不会破坏您的样品,也不会因为用户不同而产生误差且远高于接触式膜厚计的量测精度。

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与涡电流/电磁式膜厚仪相比,Smart膜厚仪不需要制作检量线,且可以量测非金属基材并且得到绝对值!

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不需要量测经验,可快速得到精准的膜厚结果

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规格样式

量测原理

反射分光法(光干涉法)、非破坏性量测

膜厚量测范围

1~50μm(显示上限60μm)

重复精度

2.1σ 0.01μm(SiO2膜1μm)

量测时间

1秒内

量测层数

1层

数据输出

附属操作屏幕显示或以USB输出Excel档案

量测Spot

Φ1mm以下

重量


约1.1kg



选配

笔型探头

能够测量狭窄区域或形状的样品。 探头尖端Φ6mm。

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非接触式载台

对于湿膜或半导体晶圆等不想接触的样品,可以通过自由设定探头位置进行非接触测量。

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使用场景

产品开发-量测试作品

1.携带到合作厂商等,直接在现场量测效率Up

2.试作阶段的检查方法商定效率Up

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产线-设定产线参数、提高良率

1.现场可直接量测,无须准备,量测时间短、效率Up

2.产品检查的早期阶段发现问题,事后的对策更加灵活

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质量管理-品管效率Up

1.现场可直接量测高精度量测成品,尽早发现不良品异状

2.事后的对策可更加灵活

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After Service-活用可携带的优点

在产品出货后的客户端也可直接带去量测。

现场较难量测的立体物、无法切割破坏的样品(例如:窗户的Coating等)。

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