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影响激光测厚仪精度的因素,镀层测厚仪原理


测厚仪是检测产品厚度的一种设备,在现在科技中,薄膜的应用越来越广泛,要求也更严格,不过目前没有什么好办法可以有效的生产出合格薄膜,因此需要测厚仪来检测瑕疵品,今天小编详细介绍下“影响激光测厚仪精度的因素,镀层测厚仪原理”。

一、影响激光测厚仪精度的因素

1、激光功率的波动

激光电源的高精度及稳功率,是透射式测厚仪正常工作的关键。采用稳功率半导体激光器,有效的提高在线激光测厚仪的精度。

2、环境干扰的影响

环境光可以干扰测量精度。环境光的影响是很复杂的,最简单的理由是,环镜光的光强可随视角面变化,两只光电管对于同一点的环境光强的反应不会是完全一致的。因此,要彻底消除环镜光的影响,只能靠完善遮光措施和改进光路设计,但这种改进不能影响“穿片”操作,而且要增设急停反馈。

3、机械误差

由于加工和安装而造成的综合误差常常是无规律的。比如当机架的应力消除不彻底时,同步带节距、导轨平直度等误差的迭加,就不能简单靠计算机的误差记忆能力来进行修正。作为检测类设备,机械精度是测量精度的基础,比 一般设备而言,测厚仪的零部件加工和整机的安装,都有一套科学的工艺路线和严格的工艺纪律,对设备的监造也是较为苛刻的。

4、低分子挥发物的影响

虽然不少薄膜生产线上都安装了吸附低分子挥发物的专用设备,但也不排除游离的低分子挥发物附着在薄膜和测厚仪发射接收单元的镜头上,度测量精度造成影响。为此,在测厚仪的轨道的一端设置了标准膜对照区,通过对照扫描和计算机数据处理来消除沉积物的厚度附加。

5、被测膜表观质量的影响

由于小型激光器的光斑是一个1~2mm的椭圆区域,被测膜的灰尘颗粒等会对某一点的测量数据产生影响。未来消除这种影响,采用了软件滤波的方式,即通过多次连续的测量,讲一个测量点变成一个小的测量带,去掉最大值和最小值,

二、镀层测厚仪工作原理

1.磁性测厚法:适用导磁材料上的非导磁层厚度测量。导磁材料一般为:钢\\铁\\银\\镍。此种方法测量精度高

2.涡流测厚法:适用导电金属上的非导电层厚度测量。

3.超声波测厚法:目前国内还没有用此种方法测量涂镀层厚度的,国外个别厂家有这样的仪器,适用多层涂镀层厚度的测量或则是以上两种方法都无法测量的场合。但一般价格昂贵,如200型超声涂层测厚仪专用于测量非金属基体上的涂层。

4.电解测厚法:此方法有别于以上三种,不属于无损检测,需要破坏涂镀层。一般精度也不高。测量起来较其他几种麻烦

5.放射测厚仪:此种仪器价格非常昂贵(一般在10万RMB以上),适用于一些特殊场合。

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