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光学薄膜测厚仪的特点,有什么优势?


薄膜测厚仪是现在科技的产物,主要用于测量薄膜的厚度,保障产品质量.现在薄膜加工工艺尚且达不到薄膜厚度一致,因此大多数的企业都会选择薄膜测厚仪检测残次品.今天小编详细介绍下"光学薄膜测厚仪的特点,有什么优势?"

一、光学薄膜测厚仪的特点

光学薄膜测厚仪的特点是非接触, 非破坏方式测量,无需样品的前处理,软件支持Windows操作系统等.光学薄膜测厚仪是使用可视光测量晶圆、玻璃等基材上形成的氧化膜,氮化膜,光致抗蚀剂等非金属薄膜厚度的仪器.

测量原理如下:在测量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可视光,这时光的一部分在膜的表面反射,另一部分透进薄膜,然后在膜与底层 (晶圆或玻璃)之间的界面反射.这时薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象.光学薄膜测厚仪就是利用这种干涉现象来测量薄膜厚度的仪器.



二、薄膜测厚仪的优势

测厚仪使用有两个激光传感器,安装在被检测产品的上下方,固定之后,确保两个传感器上激光在同一点上,随着产品移动,仪器里面的移动传感器就会对被检测产品表面采样,从而测量出产品上下表面的距离,也可以检测出来上下两个激光传感器的距离.

检测出来的数据会经过串口传输到计算机里面,然后通过里里面的测厚软件进行数据处理,从而得到被检测产品的厚度.

这种仪器主要采用的测量方式就是机械接触的方式,大家可以严格根据标准要求来保证测试的规范性和准确性,同时在使用这种仪器测量的时候也要注意不能让这种设备测量的产品超过量程范围之内,不然的话就很容易会引起厚度测量的程度.

测厚仪的检测系统具有支持数据实时显示,自动统计,打印这多种功能,让顾客更加方便快捷的获得检测结果,从而有效的提高检测的效率,这种仪器的系统通常是微电脑进行控制的,而且显示器也搭配了液晶的,还为大家提供了更加人性化的操作界面.

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