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膜厚分析仪的特点,影响精度的因素


现在薄膜生产加工技术尚且不完善,生产出来的薄膜厚度不均匀.因此人们发明了膜厚分析仪,用于测量薄膜厚度,避免残次品流入市场,膜厚分析仪有着多种种类.今天小编详细介绍下"膜厚分析仪的特点,影响激光测厚仪精度的因素".

一、膜厚分析仪的特点

快速:1分钟就可以测定样品镀层的厚度,并达到测量精度要求.

方便:X荧光光谱仪部分机型采用进口国际上先进的电制冷半导体探测器,能量分辨率更优于135eV,测试精度更高.并且不用液氮制冷,不用定期补充液氮,操作使用更加方便,并且运行成本比同类的其他产品更低.

无损:测试前后,样品无任何形式的变化.

直观:实时谱图,可直观显示元素含量.

测试范围广:X荧光光谱仪,是一种物理分析方法,其分析与样品的化学结合状态无关.对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析,抽真空可以测试从Na到U.

可靠性高:由于测试过程无人为因素干扰,仪器自身分析精度、重复性与稳定性很高.所以,其测量的可靠性更高.

满足不同需求:测试软件为WINDOWS操作系统软件,操作方便、功能强大,软件可监控仪器状态,设定仪器参数,并就有多种先进的分析方法,工作曲线制作方法灵活多样,方便满足不同客户不同样品的测试需要.

性价比高:相比化学分析类仪器,X荧光光谱仪在总体使用成本上有优势的,可以让更多的企业和厂家接受.

简易:对人员技术要求较低,操作简单方便,并且维护简单方便.

二、影响激光测厚仪精度的因素

1、激光功率的波动

激光电源的高精度及稳功率,是透射式测厚仪正常工作的关键.采用稳功率半导体激光器,有效的提高在线激光测厚仪的精度.

2、环境干扰的影响

环境光可以干扰测量精度.环境光的影响是很复杂的,最简单的理由是,环镜光的光强可随视角面变化,两只光电管对于同一点的环境光强的反应不会是完全一致的.因此,要彻底消除环镜光的影响,只能靠完善遮光措施和改进光路设计,但这种改进不能影响"穿片"操作,而且要增设急停反馈.

3、机械误差

由于加工和安装而造成的综合误差常常是无规律的.比如当机架的应力消除不彻底时,同步带节距、导轨平直度等误差的迭加,就不能简单靠计算机的误差记忆能力来进行修正.作为检测类设备,机械精度是测量精度的基础,比 一般设备而言,测厚仪的零部件加工和整机的安装,都有一套科学的工艺路线和严格的工艺纪律,对设备的监造也是较为苛刻的.

4、低分子挥发物的影响

虽然不少薄膜生产线上都安装了吸附低分子挥发物的专用设备,但也不排除游离的低分子挥发物附着在薄膜和测厚仪发射接收单元的镜头上,度测量精度造成影响.为此,在测厚仪的轨道的一端设置了标准膜对照区,通过对照扫描和计算机数据处理来消除沉积物的厚度附加.

5、被测膜表观质量的影响

由于小型激光器的光斑是一个1~2mm的椭圆区域,被测膜的灰尘颗粒等会对某一点的测量数据产生影响.未来消除这种影响,采用了软件滤波的方式,即通过多次连续的测量,讲一个测量点变成一个小的测量带,去掉最大值和最小值,

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