In-situ膜厚测量1(SF-3)


在晶圆研磨工程中,需要在过程中实时并非接触式测量晶圆厚度。SF-3把研磨中测量的厚度数据送信到研磨设备里。研磨设备会根据得到的厚度数据在到达目标厚度时,停止研磨。


铸块


晶圆制作


洗浄