晶圆平坦度测量(SF-3)


「晶圆弯曲」和「厚度」同时测量(Dyvoce系列)

协作事例。

神津精機株式会社生产的「Dyvoce系列:高精度晶圆形状定装(晶圆平坦度检查)」嵌入我司SF-3。是融合了Dyvoce的高精度弯曲测量技术和我司SF-3的高精度晶圆厚度测量技术的测量设备。从自动机到平板设备都可提案。


铸块


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