晶圆表面的电位(ELSZ-2000ZS)


清洗之后,表面状态不同,可能有异物不能去除的情况。这是因为异物是正极,晶圆表面是负极,两者吸附无法去除。这种情况,需要测量晶圆表面和异物(例如研磨粒子)的两者的界达电位来分析原因


铸块


晶圆制作


洗浄