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膜厚仪的测厚方法有什么?

作者:超级管理员时间:2022-08-11 17:20:3580 次浏览

信息摘要:

通过薄膜上下层的反射谱,测量薄膜的厚度和光学常数(n、k值).可用于光刻胶膜层、氧化物或氮化物膜层、硅和其它半导体膜层等的厚度和光学常数的测量.那么膜厚仪的测厚方法有什么?一、膜厚仪的测厚方法有什么?1.红外光谱分析测厚法红外光谱分析测厚法根据某一化学物质如分子、离子或自由基等,由于吸收了红外电磁波的能量,使得该...

通过薄膜上下层的反射谱,测量薄膜的厚度和光学常数(n、k值).可用于光刻胶膜层、氧化物或氮化物膜层、硅和其它半导体膜层等的厚度和光学常数的测量.那么膜厚仪的测厚方法有什么?

一、膜厚仪的测厚方法有什么?

1.红外光谱分析测厚法

红外光谱分析测厚法根据某一化学物质如分子、离子或自由基等,由于吸收了红外电磁波的能量,使得该化学物质在电子基态时转动、振动或转动一振动能量产生变化,进而实现厚度测量.

红外光谱分析测厚法精度高.但该方法对颜色敏感,不适用于多颜色薄膜厚度的测量.

2.射线测厚法

射线测厚法的原理是射线透过物体后其能量衰减程度与物体厚度有关.根据辐射源类型的不同,可分为 射线测厚法、射线测厚法、X射线测厚法.该方法发展较早,被普遍用于工业产品的厚度测量.

射线测厚法优点是稳定性好,不受被测物抖动、表面形貌等影响.

但由于射线的物理特性使得射线厚度测量方法存在如下缺点:受大气压、温度、材料影响较大;实现难度大,研制成本高,一般在十几万美元以上;由于射线会危害到人体的健康,基于射线技术的薄膜厚度测量设备广泛推广应用受到限制.

3.激光测厚法

激光测厚法通过两个激光器同时发出两束激光照射到被测薄膜的上下表面,分别测得两个激光器到薄膜上下表面的距离,求差后得到薄膜厚度.

激光测厚法的优点是可以消 除测量过程中薄膜振动的影响.但存在的蕞大不足之处是扫描测量过程中必须保证两个激光器发射光束同轴.因此,该方法的实现难度较大.

4.光干涉测厚法

光干涉测厚法根据相干光干涉形成等厚干涉条纹,通过对干涉图样分析处理得出薄膜厚度.光干涉测厚法的优点是精度高,易于实现,可快速扫描测量.但不足之处是只适用于微米级以下的薄膜厚度测量.


 

 


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