- 产品信息
- 设备构成
- 测量示例
产品信息
特 点
●采用分光干涉法
●搭载高精度FFT膜厚解析系统（专利 第4834847号）
●使用光学光纤，可灵活构筑测量系统
●可嵌入至各种制造设备。
●实时测量膜厚
●可对应远程操作、多点测量
●采用寿命长、安全性高的白色LED光源
测量项目
·多层膜厚解析
用 途
●光学薄膜（超硬涂层、AR薄膜、ITO等）
●FPD相关（光刻胶、SOI、SiO2等）
设备构成
单点型
●半导体晶圆的面内分布测量
●玻璃基板的面内分布测量
多点型
●实时测量
●流向品质管理
●真空室适用
导线型
●实时测量
●宽度方向品质管理
测量案例
超硬涂层的膜厚解析
