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嵌入式膜厚检测仪

嵌入式膜厚检测仪

产品信息 特 点 采用分光干涉法 搭载高精度FFT膜厚解析系统(专利 第4834847号) 使用光学光纤,可灵活构筑测量系统 可嵌入至各种制造设备。 实时测量膜厚 可对应远程操作、多点测量...

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0512-62589919
产品介绍
  • 产品信息
  • 设备构成
  • 测量案例

    产品信息

    特 点

    采用分光干涉法

    搭载高精度FFT膜厚解析系统(专利 第4834847号)

    使用光学光纤,可灵活构筑测量系统

    可嵌入至各种制造设备。

    实时测量膜厚

    可对应远程操作、多点测量

    采用寿命长、安全性高的白色LED光源

测量项目

    ·多层膜厚解析

    用 途

    光学薄膜(超硬涂层、AR薄膜、ITO等)

    FPD相关(光刻胶、SOI、SiO2等)

    设备构成

    单点型

    半导体晶圆的面内分布测量

    玻璃基板的面内分布测量

    多点型

    实时测量

    流向品质管理

    真空室适用

    导线型

    实时测量

    宽度方向品质管理

    测量案例

    超硬涂层的膜厚解析



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