半导体评估机器-大塚电子（苏州）有限公司

多通道光谱仪 MCPD-9800 / 6800

产品信息特长应用广泛的测量仪。以最高机型MCPD-9800为首，一共有3种对应12波长领域的测量仪。我们可以根据客户的需求和用途提出最适合的方案。不同评价方法对应不同设备 ◎

彩色滤光片、彩色光刻胶测量装置 LCF SERIES

产品信息特点以透过光谱测量、色测量为代表，通过浓度测量、膜厚测量、反射光谱测量等，可对应彩色滤光片制造工程中的所有检查的装置可用于彩色滤光片的光学特性或玻璃基板

Load Port对应膜厚测量系统 GS-300

产品信息特点支持集成到 Φ300mm EFEM 单元的备用端口实现嵌入在晶片中的布线图案的图案对齐支持半导体工艺的高吞吐量要求支持槽口对齐功能小尺寸规格高精度自动校准单元自动

液晶层间隙量测设备 RETS series

产品信息特点采用了偏光光学系和多通道分光检出器有可对应各种尺寸的装置，从1mm大小的光学素子到第10代的大型基板安全对策和粒子对策，可对应液晶line内的检查设备测量项目

嵌入式膜厚检测仪

产品信息特点采用分光干涉法搭载高精度FFT膜厚解析系统（专利第4834847号）使用光学光纤，可灵活构筑测量系统可嵌入至各种制造设备。实时测量膜厚可对应远程操作、多点测量

显微分光膜厚仪 OPTM series

●非接触 · 非破坏 · 显微、对焦、测量1秒完成 ●OPTM系列显微分光膜厚仪是一款可替代椭偏仪，测试膜厚、折射率n、消光系数k、绝对反射率的新型高精度、高性价比的分光膜厚仪。适用于各种可透光膜层的测试，并有独家专利可针对透明基板去除背面反射，从而达到“真实反射率、膜厚”测试的目的。此外，软件操作简单、使用方便且简化了复杂的建模流程。

OPTM series 嵌入型

利用显微微分光膜厚计OPTM series的高精度、微小光点，在线提供制作晶片图案后的微小区域测量等膜厚信息。

MCPD series 嵌入式膜厚测试型

本公司的MCPD series，由于采用柔软纤维的事，从In-Situ到内联各种各样的地方和用途的编入成为可能。测量原理为分光干涉方式，在实现高测量再现性的同时，还支持多层厚度测量。通过采用独自算法，可以高速实时监控。

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