接下来是“晶体生长”。在这里,我们在晶圆上制作用于发光作为LED的薄膜。顶部是过程的俯视图,底部是横截面。在晶片周围的高温高压环境下吹入气体,并通过化学反应在晶片表面上沉积形成薄膜。这样重复多次以制作多层薄膜结构。
【有关两个流程控制】
这个过程是制造LED的核心过程。2014年的蓝色LED研究获得了诺贝尔奖,之所以获奖是因为经此过程,LED的质量得到了显着改善,使得制造实用蓝色LED成为可能。获奖的原因之一是,正如这里所提到的,通过采用一种称为双流法的方法,用两种原料气体以供晶体生长,因此制造出更优质的晶体。此外,p型层的激活,低温缓冲层等LED的晶体生长膜方法,在许多技术的积累之上实现了制造出本世纪的蓝光LED。
製品事例