MCPD series 在线评估测试系统

产品信息

特　点

● 最适合工艺过程中的薄膜高速测量

●最短曝光时间1ms～※根据规格

●支持远程测量

●膜厚测量范围65nm～92μm（换算为SiO2）

基本配置

多点测量点切换对应系统

在多点测量点切换对应系统中，通过在TD方向预先设置任意宽度的多分支光纤，可以在不驱动光纤的情况下测量TD方向的膜厚分布。可以作为涂层的条件和实时监视器使用。

检测器和数据处理系统为1式，通过光纤的光路切换可以进行多点测定。

横动单元对应系统

在横动单元对应系统中，通过在TD方向上驱动横动单元，可以以任意宽度和任意间距测量TD方向的膜厚分布。

可以作为涂层条件提出和实时监控使用。 由于通过排线单元的驱动进行多点测量，因此无需准备多台检测器和数据处理。

即使在真空环境下也可以在多点进行反射、透射光谱测定

通过使用各种法兰对应的耐真空纤维，可以在高真空下测量反射、透射光谱。

另外，膜厚运算不易受到基膜的上下移动的影响，并且采用精度良好的薄膜测量大冢电子独自的算法，可以作为实时监视器使用。