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测量机器

    • MCPD series 嵌入式膜厚测试型
      本公司的MCPD series,由于采用柔软纤维的事,从In-Situ到内联各种各样的地方和用途的编入成为可能。测量原理为分光干涉方式,在实现高测量再现性的同时,还支持多层厚度测量。通过采用独自算法,可以高速实时监控。...
    • OPTM series 嵌入型
      利用显微微分光膜厚计OPTM series的高精度、微小光点,在线提供制作晶片图案后的微小区域测量等膜厚信息。...
    • 多通道光谱仪 MCPD-9800 / 6800
      产品信息 特长 应用广泛的测量仪。 以最高机型MCPD-9800为首,一共有3种对应12波长领域的测量仪。 我们可以根据客户的需求和用途提出最适合的方案。 不同评价方法对应不同设备 ◎...
    • 彩色滤光片、彩色光刻胶测量装置 LCF SERIES
      产品信息 特点 以透过光谱测量、色测量为代表,通过浓度测量、膜厚测量、反射光谱测量等,可对应彩色滤光片制造工程中的所有检查的装置 可用于彩色滤光片的光学特性或玻璃基板...
    • Load Port对应膜厚测量系统 GS-300
      产品信息 特点 支持集成到 Φ300mm EFEM 单元的备用端口 实现嵌入在晶片中的布线图案的图案对齐 支持半导体工艺的高吞吐量要求 支持槽口对齐功能 小尺寸规格 高精度自动校准单元 自动...
    • 液晶层间隙量测设备 RETS series
      产品信息 特 点 采用了偏光光学系和多通道分光检出器 有可对应各种尺寸的装置,从1mm大小的光学素子到第10代的大型基板 安全对策和粒子对策,可对应液晶line内的检查设备 测量项目...
    • 嵌入式膜厚检测仪
      产品信息 特 点 采用分光干涉法 搭载高精度FFT膜厚解析系统(专利 第4834847号) 使用光学光纤,可灵活构筑测量系统 可嵌入至各种制造设备。 实时测量膜厚 可对应远程操作、多点测量...
    • 显微分光膜厚仪 OPTM series
      ●非接触 · 非破坏 · 显微、对焦、测量1秒完成 ●OPTM系列显微分光膜厚仪是一款可替代椭偏仪,测试膜厚、折射率n、消光系数k、绝对反射率的新型高精度、高性价比的分光膜厚仪。适用于各种可透光膜层的测试,并有独家专利可针对透明基板去除背面反射,从而达到“真实反射率、膜厚”测试的目的。此外,软件操作简单、使用方便且简化了复杂的建模流程。...

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