测量机器

• 光波动场三次元显微镜
  

  MINUK可评价nｍ级的透明的异物・缺陷，一次拍照即可瞬时获得深度方向的信息，可非破坏・非接触・非侵入的进行测量。且无需对焦，可在任意的面进行高速扫描,轻松决定测量位置。
  
• 相位差测量装置 RETS-100nx New
  

  产品信息 特 点 采用了偏光光学系和多通道分光检出器 有可对应各种尺寸的装置，从1mm大小的光学素子到第10代的大型基板 安全对策和粒子对策，可对应液晶line内的检查设备 测量项目...
• 椭偏仪 FE-5000/5000S
  

  产品信息 特点 可在紫外和可见（250至800nm）波长区域中测量椭圆参数 可分析纳米级多层薄膜的厚度 可以通过超过400ch的多通道光谱快速测量Ellipso光谱 通过可变反射角测量，可详细分析...
• 线扫描膜厚仪【离线型】
  

  产品信息 特点 全面高速高精度进行薄膜等面内膜厚不均一性检测 硬件软件均为创新设计 作为专业膜厚测定厂商，提供多种支援 实现高精度测量（已取得专利） 实现高速测量（500万点...
• 小角激光散射仪 PP-1000
  

  PP-1000小角激光散射仪，利用小角激光散射法（Small Angle Laser Scattering，简称SALS），可以对高分子材料和薄膜进行原位检测，实时解析。与SAXS和SANS的装置相比，检测范围更广。利用偏光Hv散射测量可以进行光学各向异性的评价，解析结晶性薄膜的球晶半径，偏光Vv散射测量可以进行聚合物混合的相关距离的分析。...
• 高速相位差测量装置 RE-200
  

  产品信息 特 点 可测从0nm开始的低（残留）相位差 光轴检出同时可高速测量相位差(Re.) （相当于世界最快速的0.1秒以下来处理） 无驱动部，重复再现性高 设置的测量项目少，测量简单...
• MCPD series 在线评估测试系统
  

  本公司的MCPD series在线胶卷评价系统，由于光学式非接触·非破坏的膜厚，浓度，颜色等的检查可能。可测定膜厚范围为65nm～92μm和薄膜到厚膜都对应。（折射率1.5时）测量原理为分光干涉方式，在实现高测量再现性的同时，还支持多层厚度测量。由于采用了独自算法，可以高速实时监控，所以作为在线胶片监控，我们提出了最适合的系统。...
• 线扫描膜厚仪【在线型】
  

  产品信息 特点 采用线扫描方式检测整面薄膜 硬件软件均为创新设计 作为专业膜厚测定厂商，提供多种支援 实现高精度测量（已获取专利） 实现高速测量 不受偏差影响 可对应宽幅样...