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膜厚 · 厚度评估机器

  • 显微分光膜厚仪 OPTM series
    测量项目:[膜厚、折射率n、消光系数k]. 测量原理:[分光干涉法]. 测量对象:[光刻胶、SiO2、Si3N4等]. 测量范围:[1nm~92μm].
  • 膜厚量测仪 FE-300
    产品信息 特 长 薄膜到厚膜的测量范围、UV~NIR光谱分析 高性能的低价光学薄膜量测仪 藉由绝对反射率光谱分析膜厚 完整继承FE-3000高端机种90%的强大功能 无复杂设定,操作简单,短時
  • 嵌入式膜厚检测仪
    产品信息 特 点 采用分光干涉法 搭载高精度FFT膜厚解析系统(专利 第4834847号) 使用光学光纤,可灵活构筑测量系统 可嵌入至各种制造设备。 实时测量膜厚 可对应远程操作、多点测量
  • 线扫描膜厚仪【在线型】
    采用线扫描方式检测整面薄膜 硬件软件均为创新设计 作为专业膜厚测定厂商,提供多种支援 实现高精度测量(已获取专利) 实现高速测量 不受偏差影响 可对应宽幅样
  • 分光干涉式晶圆膜厚仪 SF-3
    即时检测 WAFER基板于研磨制程中的膜厚 玻璃基板于减薄制程中的厚度变化 (强酸环境中) 产品特色 非接触式、非破坏性光学式膜厚检测 采用分光干涉法实现高度检测再现性 可进行高速

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