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功能性薄膜评价仪器

  • 椭偏仪 FE-5000/5000S
    产品信息 特点 可在紫外和可见(250至800nm)波长区域中测量椭圆参数 可分析纳米级多层薄膜的厚度 可以通过超过400ch的多通道光谱快速测量Ellipso光谱 通过可变反射角测量,可详细分析
  • 高速相位差测量装置 RE-200
    产品信息 特 点 可测从0nm开始的低(残留)相位差 光轴检出同时可高速测量相位差(Re.) (相当于世界最快速的0.1秒以下来处理) 无驱动部,重复再现性高 设置的测量项目少,测量简单

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